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目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>科晶最新設(shè)備產(chǎn)品>> PCE-22加熱型紫外臭氧清洗機(jī)

加熱型紫外臭氧清洗機(jī)

  • 加熱型紫外臭氧清洗機(jī)
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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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  • 品牌 合肥科晶
  • 型號(hào) PCE-22
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市
屬性

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更新時(shí)間:2025-02-11 11:01:25瀏覽次數(shù):7743評(píng)價(jià)

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PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī),其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤(rùn)濕性,清洗SEM &TEM,紫外對(duì)聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一種無(wú)酸、干燥對(duì)材料無(wú)損傷的原子級(jí)別的清洗手段,特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長(zhǎng)的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞?

 PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī),其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤(rùn)濕性,清洗SEM &TEM,紫外對(duì)聚合物改性等。
   紫外臭氧清洗提供了一種無(wú)酸、干燥對(duì)材料無(wú)損傷的原子級(jí)別的清洗手段,特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長(zhǎng)的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長(zhǎng)的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。

 

技術(shù)參數(shù)

電源

AC 208~240V,單相 50/60Hz

紫外燈

  • 可發(fā)出雙波長(zhǎng)的水銀燈
  • 功率:55W
  • 發(fā)出光的波長(zhǎng):254 nm 和 185 nm 
  • 使用壽命:2500 小時(shí)(可在本公司購(gòu)買(mǎi)紫外燈來(lái)更換)
  • 照射區(qū)域:200 x 200 mm

腔體&樣品臺(tái)

  • 不銹鋼殼體
  • 抽屜式樣品臺(tái),以便放樣取樣
  • 樣品臺(tái)面積310 mm x 320 mm
  • 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上
  • 樣品臺(tái)與紫外燈的距離:20mm -40mm(可調(diào))
  • 樣品臺(tái)可以加熱,zui高溫度可達(dá)150℃
  • 可設(shè)置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃
  • 設(shè)備運(yùn)行時(shí)間:0.01 秒- 99.9小時(shí)

排氣口

  • 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端
  • 請(qǐng)將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外
  • 儀器中不包含橡膠管

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
 

凈重

28kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含紫外燈)

應(yīng)用

  • 去除分子級(jí)別的污染物
  • 紫外光固化粘合劑
  • 紫外光催化
  • 氧化PDMS
  • 表面消毒
  • 刻蝕
  • 清洗MEMS 器件
  • 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

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