目錄:科睿設(shè)備有限公司>>薄膜半導體材料制備系統(tǒng)>> TPD系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
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TPD系統(tǒng)用于測量超薄薄膜吸附/脫吸的獨立系統(tǒng),能夠在較寬溫范圍內(nèi)進行高精度溫度控制。
本底真空1×10-9 mbar 的 TPD/TDS 腔室(可用于其他組件的備用端口)
配備四極桿TDS 40A1熱脫附質(zhì)譜儀(質(zhì)量范圍最大到200 AMU),Z軸移動以實現(xiàn)最佳探測器定位
特別設(shè)計的圓錐形采樣端件
1 軸超高真空操縱器,在寬溫范圍內(nèi)具有高精度溫度控制(-170°C 至 1200 °C)
TDS專用 計算機控制的數(shù)據(jù)采集和處理軟件
樣品傳輸腔配置兩個 PTS 樣品夾具
從樣品傳輸腔到 TPD 室配置可靠和快速的線性傳輸系統(tǒng)
19" 支撐柜,安裝所有的電子部件
具有大輪子的可調(diào)節(jié)剛性大型機,便于系統(tǒng)放置
TPD系統(tǒng)升級選項
操縱器的其他運動軸,并機動化
通過精確控制壓力,將壓力范圍從超高真空擴展到 1 atm 的可能性
氣體注入系統(tǒng)(手動或精確與 PLC 控制)
溶劑注入系統(tǒng)
致力于在腐蝕性環(huán)境中工作的樣品夾具
樣品傳輸腔室具有加熱和 液氮LN2冷卻選項
用于樣品準備的專用室
不同質(zhì)量范圍的殘余氣體分析質(zhì)譜儀