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目錄:科睿設(shè)備有限公司>>薄膜半導體材料制備系統(tǒng)>> TPD系統(tǒng)

TPD系統(tǒng)

  • TPD系統(tǒng)
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
參考價 面議
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  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 上海市
屬性

產(chǎn)地類別:國產(chǎn) 應用領(lǐng)域:綜合

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更新時間:2025-12-04 10:50:59瀏覽次數(shù):200評價

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應用領(lǐng)域 綜合
TPD系統(tǒng)用于測量超薄薄膜吸附/脫吸的獨立系統(tǒng),能夠在較寬溫范圍內(nèi)進行高精度溫度控制。

TPD系統(tǒng)用于測量超薄薄膜吸附/脫吸的獨立系統(tǒng),能夠在較寬溫范圍內(nèi)進行高精度溫度控制。

  • 本底真空1×10-9 mbar 的 TPD/TDS 腔室(可用于其他組件的備用端口)

  • 配備四極桿TDS 40A1熱脫附質(zhì)譜儀(質(zhì)量范圍最大到200 AMU),Z軸移動以實現(xiàn)最佳探測器定位

  • 特別設(shè)計的圓錐形采樣端件

  • 1 軸超高真空操縱器,在寬溫范圍內(nèi)具有高精度溫度控制(-170°C 至 1200 °C)

  • TDS專用 計算機控制的數(shù)據(jù)采集和處理軟件

  • 樣品傳輸腔配置兩個 PTS 樣品夾具

  • 從樣品傳輸腔到 TPD 室配置可靠和快速的線性傳輸系統(tǒng)

  • 19" 支撐柜,安裝所有的電子部件

  • 具有大輪子的可調(diào)節(jié)剛性大型機,便于系統(tǒng)放置


TPD系統(tǒng)升級選項

  • 操縱器的其他運動軸,并機動化

  • 通過精確控制壓力,將壓力范圍從超高真空擴展到 1 atm 的可能性

  • 氣體注入系統(tǒng)(手動或精確與 PLC 控制)

  • 溶劑注入系統(tǒng)

  • 致力于在腐蝕性環(huán)境中工作的樣品夾具

  • 樣品傳輸腔室具有加熱和 液氮LN2冷卻選項

  • 用于樣品準備的專用室

  • 不同質(zhì)量范圍的殘余氣體分析質(zhì)譜儀

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