概述

氣態(tài)分子污染物CF4泄漏分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量子級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度可以無時延的探測最微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時保證了超高水平的穩(wěn)定性。重新校準的周期長達幾個月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。

氣態(tài)分子污染物CF4泄漏分析儀測量參數(shù)：

l響應(yīng)時間：取決于用戶可定義通道積分時間CIT以及氣體沖洗設(shè)定。根據(jù)平均時間和采樣設(shè)定從大約10秒到幾分鐘不等

l 監(jiān)測下限：小于0.1ppb

l動態(tài)量程：大于5個數(shù)量級（檢測下限的100,000倍)

l重復(fù)性：運行條件下，校準濃度重復(fù)性小于1%

l準確度：校準濃度高于5%，受限于校準氣體準確度

l溫度穩(wěn)定性：在運行溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化不會導致漂移

l 壓力穩(wěn)定性：壓力范圍內(nèi)的樣品壓力變化不會導致漂移

優(yōu)勢

l 準確、可靠和低維護成本的潔凈室污染控制

l 快速的響應(yīng)時間，以捕捉濃度突然上升

l 獨立運行系統(tǒng)，內(nèi)置氣體交換泵

l 無耗材或者化學試劑

l 短光程，單點校準也可達到業(yè)內(nèi)水平的動態(tài)量程

l 直接吸收測量，無漂移

l 校準間隔長（可達數(shù)年）

l 高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾