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特征：

亞納米定位分辨率

該平移臺(tái)的定位分辨率低至 0.2 nm，因此可以進(jìn)行超精細(xì)調(diào)節(jié)，且該分辨率僅受限于控制器件的噪聲。

大范圍的壓電行程

針對(duì)高占空比的循環(huán)操作，NPX 壓電疊堆線性平移臺(tái)具有可靠性高、多層、低壓壓電疊堆的特性。復(fù)雜的 FEA 優(yōu)化的平行四邊形固態(tài)撓性導(dǎo)向系統(tǒng)可確保完美的平行運(yùn)動(dòng)和高達(dá) 400 µm 的行程范圍。由于該平臺(tái)符合無摩擦導(dǎo)向原理，無需維護(hù)，不存在磨損。更重要的是，其輸出運(yùn)動(dòng)靈敏度不會(huì)受機(jī)械摩擦的影響。

可選集成應(yīng)變計(jì)，適用于閉環(huán)操作

閉環(huán)產(chǎn)品（型號(hào)以 SG 結(jié)尾）內(nèi)部集成有高分辨率應(yīng)變計(jì)位置傳感器，其支持高精密且可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)，而且還會(huì)對(duì)促動(dòng)器蠕變進(jìn)行補(bǔ)償。該產(chǎn)品的裝配基于完整的惠斯通電橋進(jìn)行，并且對(duì)溫度不敏感。閉環(huán)產(chǎn)品即可開環(huán)也可閉環(huán)控制。

提供真空版本

該平移臺(tái)具有真空兼容版本，可在真空 (10-6 Torr) 環(huán)境中使用。

NPX 壓電疊堆線性平移臺(tái)提供一、兩或三軸上的長行程亞納米分辨率的運(yùn)動(dòng)，所有這些均在一個(gè)緊湊型封裝中實(shí)現(xiàn)。它們具有快速響應(yīng)和快速穩(wěn)定性能，使它們可以用于動(dòng)態(tài)過程（如高頻誤差補(bǔ)償、跟蹤、快速步進(jìn)或連續(xù)掃描）。

• 亞納米壓電定位分辨率
• 在 X、XY 或 XYZ 中運(yùn)動(dòng)
• 壓電行程范圍可達(dá) 400 µm
• 可選集成應(yīng)變計(jì)，適用于閉環(huán)操作
• 共振頻率高，適用于高動(dòng)態(tài)應(yīng)用
• 真空版本