 |
深圳市秋山貿(mào)易有限公司
主營產(chǎn)品： 抹茶生產(chǎn)線,粉碎研磨珠,口紅硬度計 |
10
聯(lián)系電話
13823147203
公司信息
- 聯(lián)系人：
- 林經(jīng)理
- 電話：
- 手機：
- 13823147203
- 地址：
- 深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
- 郵編：
- 個性化：
- www.cnakiyama.com
FT6-36P空冷式六段根式工藝生產(chǎn)用油旋轉(zhuǎn)真空泵
| 參考價 | ￥ 10000 |
| 訂貨量 | 1000件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 型號 FT6-36P
- 品牌 其他品牌
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 所在地 深圳市
更新時間：2025-11-15 10:50:58瀏覽次數(shù)：259
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
【簡單介紹】
空冷式六段根式工藝生產(chǎn)用油旋轉(zhuǎn)真空泵
FT6-36P · LED 生產(chǎn)工藝專用
六段 Root + 油旋片復(fù)合 · 空冷 · 無冷卻水
250 m³/h · 極限 6.7×10?² Pa · 重量 230 kg · 可并排
一、產(chǎn)品定位
LED 生產(chǎn)工藝：
MOCVD 前級（GaN 外延）
濺射 & 離子鍍
高亮度芯片干刻
空冷六段根式：無冷卻水，并排安裝，產(chǎn)線無需水改
六段 Root + 油旋片
| 泵軸位置 | 邊立式 | 輸送介質(zhì) | 污水泵、雜質(zhì)泵 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
FT6-36P · LED 生產(chǎn)工藝專用
六段 Root + 油旋片復(fù)合 · 空冷 · 無冷卻水
250 m³/h · 極限 6.7×10?² Pa · 重量 230 kg · 可并排
一、產(chǎn)品定位
LED 生產(chǎn)工藝：
MOCVD 前級（GaN 外延）
濺射 & 離子鍍
高亮度芯片干刻
空冷六段根式：無冷卻水，并排安裝，產(chǎn)線無需水改
六段 Root + 油旋片
空冷式六段根式工藝生產(chǎn)用油旋轉(zhuǎn)真空泵
空冷式六段根式工藝生產(chǎn)用油旋轉(zhuǎn)真空泵
FT6-36P · LED 生產(chǎn)工藝專用
六段 Root + 油旋片復(fù)合 · 空冷 · 無冷卻水
250 m3/h · 極限 6.7×10?2 Pa · 重量 230 kg · 可并排
一、產(chǎn)品定位
- LED 生產(chǎn)工藝：
- MOCVD 前級（GaN 外延）
- 濺射 & 離子鍍
- 高亮度芯片干刻
- 空冷六段根式：無冷卻水，并排安裝，產(chǎn)線無需水改
- 六段 Root + 油旋片：復(fù)合抽氣，高抽速 + 低極限，適合大腔體快速抽真空
二、核心技術(shù)參數(shù)（FT6-36P）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 原理 | 六段 Root + 油旋片復(fù)合（空冷） |
| 抽速 | 250 m3/h (50 Hz) / 300 m3/h (60 Hz) |
| 極限真空 | 6.7×10?2 Pa（0.5 mTorr） |
| 最大允許壓力 | 0.1 MPa（abs） |
| Root 級 | 6 段行星轉(zhuǎn)子，硬陽極氧化 |
| 油旋片級 | 雙級油封，強制油循環(huán) |
| 冷卻方式 | 空冷（強制風(fēng)扇） |
| 進氣口 | DN63 ISO-K（可轉(zhuǎn) NW40） |
| 排氣口 | DN25 ISO-K |
| 電源 | 3φ 200 V 50/60 Hz，5.5 kW |
| 尺寸/重量 | 950×450×580 mm，230 kg |
| 噪聲 | ≤ 65 dB(A) @ 50 Hz（1 m） |
| 壽命 | 30,000 h（連續(xù)運行） |
三、功能亮點
- 六段 Root 高抽速：250 m3/h，比同級雙段泵高 50 %，MOCVD 腔體 3 min 抽到 10 Pa
- 空冷無水管：并排安裝，產(chǎn)線無需冷卻水改造
- 6.7×10?2 Pa 極限：滿足 MOCVD、濺射、離子鍍工藝背壓要求
- 硬陽極 Root 轉(zhuǎn)子：耐 GaN 粉塵、耐金屬飛濺，壽命 30,000 h
- 強制油循環(huán)：高負(fù)荷連續(xù)運行，油溫 <70 ℃
- 65 dB 靜音：比水冷泵低 10 dB，潔凈室旁運行不擾人
四、典型應(yīng)用系統(tǒng)
MOCVD 反應(yīng)室 300 mm┌─ 反應(yīng)室 ─┐│ │進口← FT6-36P ← 粉塵過濾器（可選）│ │└─ 回大氣 ──┘- 泵進口接反應(yīng)室，3 min 抽到 10 Pa，滿足 GaN 外延工藝
- 粉塵過濾器捕集 GaN 微粒，延長泵壽命
五、實測數(shù)據(jù)（MOCVD 驗證）
- 反應(yīng)室 300 mm，室溫 25 ℃
- FT6-36P 50 Hz 運行：
- 1 min 達到 100 Pa
- 3 min 達到 10 Pa
- 極限 6.7×10?2 Pa
- 連續(xù) 24 h 油溫 <65 ℃，無冷卻水
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| FT6-36P-200 | 200 V 50 Hz 標(biāo)準(zhǔn)型 |
| FT6-36P-460 | 460 V 60 Hz 出口型 |
| FT6-36P-DN63 | DN63 ISO-K 進氣法蘭 |
| FT6-36P-OIL | VG-68 高真空油 5 L |
七、維護與可靠性
- 油更換：每 3,000 h 或 1 年
- Root 轉(zhuǎn)子：硬陽極氧化，壽命 30,000 h，免維護
- 粉塵過濾器：每月清理一次
- 整機 2 年質(zhì)保，10 年配件保障
八、結(jié)論
ANLET FT6-36P 以「六段 Root 高抽速 + 空冷無水管 + 6.7×10?2 Pa 極限 + 硬陽極轉(zhuǎn)子」四合一設(shè)計，讓 LED 生產(chǎn)工藝（MOCVD、濺射、離子鍍）獲得「高抽速、無冷卻水、耐粉塵」真空源，是 LED 產(chǎn)線空冷式根式真空泵的「高抽速標(biāo)準(zhǔn)機」
