 |
深圳市秋山貿(mào)易有限公司
主營產(chǎn)品： 抹茶生產(chǎn)線,粉碎研磨珠,口紅硬度計 |
10
聯(lián)系電話
13823147203
公司信息
- 聯(lián)系人：
- 林經(jīng)理
- 電話：
- 手機：
- 13823147203
- 地址：
- 深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
- 郵編：
- 個性化：
- www.cnakiyama.com
MFC型半導(dǎo)體行業(yè)用單片流量控制高精度旋轉(zhuǎn)接頭
| 參考價 | ￥ 10000 |
| 訂貨量 | 1000件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 型號 MFC型
- 品牌 其他品牌
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 所在地 深圳市
更新時間：2025-11-15 15:26:02瀏覽次數(shù)：252
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
半導(dǎo)體行業(yè)用單片流量控制高精度旋轉(zhuǎn)接頭
半導(dǎo)體行業(yè)用單片流量控制高精度旋轉(zhuǎn)接頭
旋轉(zhuǎn)接頭間隙密封 MFC 型
單片式清洗 · 間隙密封 · MFC 流量控制 · 真空兼容
單片傳送 · 間隙 1-5 µm · 真空 ≤ 1×10?? Pa · 重量 0.8 kg
一、產(chǎn)品定位
- 單片式清洗：單片傳送、單片蝕刻、單片 CMP 后清洗
- 間隙密封：1-5 µm 間隙，無接觸密封，顆粒生成 < 1 pc/片
- MFC 流量控制：內(nèi)置 MFC，0.1-10 L/min，±1 % FS
- 真空兼容：真空 ≤ 1×10?? Pa，Class 100 兼容
二、核心技術(shù)參數(shù)（MFC 型）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 原理 | 間隙密封 + MFC 流量控制 |
| 間隙寬度 | 1-5 µm（無接觸密封） |
| 流量范圍 | 0.1 – 10 L/min（±1 % FS） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 顆粒生成 | < 1 pc/片（0.3 µm 以上） |
| 接觸材料 | 316L + PTFE + 藍寶石（軸承） |
| 溫度范圍 | -20 – 120 ℃（短時 150 ℃） |
| 接口 | 1/4-28 UNF（真空饋通） |
| 電源 | DC 24 V 1 A（含 MFC 驅(qū)動器） |
| 尺寸/重量 | Φ25×70 mm，0.8 kg |
| 壽命 | 20,000 h（連續(xù)運行） |
三、功能亮點
- 1-5 µm 間隙密封：無接觸密封，顆粒生成 < 1 pc/片
- 0.1-10 L/min MFC：內(nèi)置 MFC，±1 % FS，單片流量精確控制
- ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：Class 100 兼容，無油污染
- 0.8 kg 超輕：可直接貼腔體，不增加機械負載
- 20,000 h 壽命：間隙密封無磨損，連續(xù)運行 20,000 h
- 單片式清洗：單片傳送、單片蝕刻、單片 CMP 后清洗
旋轉(zhuǎn)接頭間隙密封 MFC 型
單片式清洗 · 間隙密封 · MFC 流量控制 · 真空兼容
單片傳送 · 間隙 1-5 µm · 真空 ≤ 1×10?? Pa · 重量 0.8 kg
一、產(chǎn)品定位
- 單片式清洗：單片傳送、單片蝕刻、單片 CMP 后清洗
- 間隙密封：1-5 µm 間隙，無接觸密封，顆粒生成 < 1 pc/片
- MFC 流量控制：內(nèi)置 MFC，0.1-10 L/min，±1 % FS
- 真空兼容：真空 ≤ 1×10?? Pa，Class 100 兼容
二、核心技術(shù)參數(shù)（MFC 型）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 原理 | 間隙密封 + MFC 流量控制 |
| 間隙寬度 | 1-5 µm（無接觸密封） |
| 流量范圍 | 0.1 – 10 L/min（±1 % FS） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 顆粒生成 | < 1 pc/片（0.3 µm 以上） |
| 接觸材料 | 316L + PTFE + 藍寶石（軸承） |
| 溫度范圍 | -20 – 120 ℃（短時 150 ℃） |
| 接口 | 1/4-28 UNF（真空饋通） |
| 電源 | DC 24 V 1 A（含 MFC 驅(qū)動器） |
| 尺寸/重量 | Φ25×70 mm，0.8 kg |
| 壽命 | 20,000 h（連續(xù)運行） |
三、功能亮點
- 1-5 µm 間隙密封：無接觸密封，顆粒生成 < 1 pc/片
- 0.1-10 L/min MFC：內(nèi)置 MFC，±1 % FS，單片流量精確控制
- ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：Class 100 兼容，無油污染
- 0.8 kg 超輕：可直接貼腔體，不增加機械負載
- 20,000 h 壽命：間隙密封無磨損，連續(xù)運行 20,000 h
- 單片式清洗：單片傳送、單片蝕刻、單片 CMP 后清洗
