 |
深圳市秋山貿(mào)易有限公司
主營產(chǎn)品： 抹茶生產(chǎn)線,粉碎研磨珠,口紅硬度計(jì) |
會(huì)員.png)
10
聯(lián)系電話
13823147203
公司信息
- 聯(lián)系人：
- 林經(jīng)理
- 電話：
- 手機(jī)：
- 13823147203
- 地址：
- 深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
- 郵編：
- 個(gè)性化：
- www.cnakiyama.com
FA1X系列微電子與制藥行業(yè)用濕法工藝臭氧發(fā)生裝置
| 參考價(jià) | ￥ 10000 |
| 訂貨量 | 1000件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 型號(hào) FA1X系列
- 品牌 其他品牌
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 所在地 深圳市
更新時(shí)間：2025-11-25 10:34:08瀏覽次數(shù)：239
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
【簡單介紹】
微電子與制藥行業(yè)用濕法工藝臭氧發(fā)生裝置
日本 ROKI TECHNO 的 FA1X 系列是一款“工業(yè)用電解式高耐久型臭氧發(fā)生裝置"，主打高純、低維護(hù)、長壽命，專為半導(dǎo)體、面板、制藥等法工藝設(shè)計(jì)。綜合公開信息，其核心特點(diǎn)與技術(shù)參數(shù)如下（如與貴司實(shí)際選型有差異，請(qǐng)以原廠最新規(guī)格書為準(zhǔn)）：
1. 電解式原理
去離子水（DI Water）直接電解生成 O?，無需氣源干燥、減壓或 PSA 制氧，避免
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
日本 ROKI TECHNO 的 FA1X 系列是一款“工業(yè)用電解式高耐久型臭氧發(fā)生裝置"，主打高純、低維護(hù)、長壽命，專為半導(dǎo)體、面板、制藥等法工藝設(shè)計(jì)。綜合公開信息，其核心特點(diǎn)與技術(shù)參數(shù)如下（如與貴司實(shí)際選型有差異，請(qǐng)以原廠最新規(guī)格書為準(zhǔn)）：
1. 電解式原理
去離子水（DI Water）直接電解生成 O?，無需氣源干燥、減壓或 PSA 制氧，避免
微電子與制藥行業(yè)用濕法工藝臭氧發(fā)生裝置
微電子與制藥行業(yè)用濕法工藝臭氧發(fā)生裝置
日本 ROKI TECHNO 的 FA1X 系列是一款“工業(yè)用電解式高耐久型臭氧發(fā)生裝置"，主打高純、低維護(hù)、長壽命，專為半導(dǎo)體、面板、制藥等濕法工藝設(shè)計(jì)。綜合公開信息，其核心特點(diǎn)與技術(shù)參數(shù)如下（如與貴司實(shí)際選型有差異，請(qǐng)以原廠最新規(guī)格書為準(zhǔn)）：
1. 電解式原理
- 去離子水（DI Water）直接電解生成 O?，無需氣源干燥、減壓或 PSA 制氧，避免 NOx、顆粒等副產(chǎn)物，臭氧純度高，金屬離子析出極低，適合晶圓清洗、光刻膠去除、CVD 后清洗等對(duì)污染極其敏感的工藝 。
2. 高耐久與低維護(hù)
- 采用鈦基+陶瓷復(fù)合電極板，表面納米涂層抑制析氧副反應(yīng)，電極壽命較傳統(tǒng)電解槽提升約 2 倍；
- 槽體為全 PTFE 或 PFA 一體注塑，高溫 (≤80 °C) 濃臭氧環(huán)境無滲透、無腐蝕；
- 內(nèi)置自動(dòng)極性反轉(zhuǎn)與脈沖清洗程序，可防止 Ca/Mg 結(jié)垢，實(shí)現(xiàn) 8 000 h 以上免開蓋維護(hù)周期。
3. 性能范圍（FA1X 系列典型值）
- 臭氧產(chǎn)量：1–10 g/h（FA110 型最大 10 g/h，F(xiàn)A120 型 20 g/h，依此類推）；
- 出口濃度：5–200 mg/L 可調(diào)（以水溶液計(jì)，高濃度型最高 250 mg/L）；
- DI Water 流量：1–20 L/min，壓力 0.15–0.4 MPa；
- 電源：單相 AC 220 V 50/60 Hz，功率 80–300 W；
- 進(jìn)出接口：3/8″ PFA 管或 ?″ 卡套，可訂制法蘭；
- 外形：桌面 320 × 220 × 420 mm（FA110），19″ 機(jī)架 4U/5U（FA120 以上）。
4. 在線監(jiān)控與安全
- 標(biāo)配紫外-可見光吸收 (UV-Vis) 型臭氧濃度計(jì)，分辨率 0.1 mg/L，誤差 ≤ ±2 %；
- PLC+7″ 觸控屏，實(shí)時(shí)顯示產(chǎn)量、濃度、槽溫、電導(dǎo)率；支持 RS-485/EtherNet/IP 與主機(jī)臺(tái)通信；
- 多段報(bào)警：低流量、超溫、電極劣化、O? 泄漏（<0.1 ppm）；泄漏時(shí)自動(dòng)停槽并啟動(dòng)催化分解器。
5. 典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體：晶圓清洗、柵氧前清洗、Cu/低-k 兼容清洗、光刻膠剝離；
- 面板：LCD/OLED 濕法再生、ITO 蝕刻后殘膠去除；
- 制藥/生物：超純水管網(wǎng)在線消毒、發(fā)酵罐 CIP/SIP；
- 精密電鍍：取代 H?SO?/H?O? 粗化，實(shí)現(xiàn)低蝕刻速率銅面改性。
6. 選型與擴(kuò)展
- FA1X-L：低濃度型 (≤30 mg/L)，適合大流量漂洗；
- FA1X-H：高濃度型 (≤250 mg/L)，適合局部點(diǎn)膠清洗；
- 可選雙槽并聯(lián)模塊，實(shí)現(xiàn) 24 h 連續(xù)運(yùn)行（一槽工作，一槽維護(hù)/反洗）；
- 可內(nèi)置 0.1 μm 過濾器 + 超純換熱器，直接對(duì)接 UPW 回路。
綜上，F(xiàn)A1X 系列通過電解純水原位產(chǎn)臭氧，無需氣源、干燥或冷卻水，兼顧高純度、高濃度與長壽命，是微電子與制藥行業(yè)對(duì)金屬離子和顆粒要求嚴(yán)苛場景的理想臭氧源。
