M系列光束筆尖陣列光刻系統(tǒng)主要特點(diǎn)：

- 高分辨率，可達(dá)低于100nm的分辨率；

- 高通量模式，可達(dá)160000針尖輸出制作結(jié)構(gòu)；

- TERA-FAB M系列可制作厘米級(jí)材料尺寸；

- 無(wú)需掩模，即時(shí)性改變輸出機(jī)構(gòu)，可廣泛適應(yīng)軟質(zhì)和硬質(zhì)材料；

- 軟硬件友好，非專(zhuān)業(yè)人士可在幾小時(shí)培訓(xùn)后，熟練使用。

A）一張4英寸的PPL陣列，有1100萬(wàn)支筆尖。

B）陣列內(nèi)納米尺度彈性材料*的掃描電子顯微照片及內(nèi)嵌圖像；

C）由PPL技術(shù)打印的多種蛋白示意圖。各針尖陣列蘸上不同的打印墨水（蛋白）；

D）熒光光學(xué)顯微圖的結(jié)果，PPL合成了多路熒光標(biāo)記蛋白的圖案。

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