SHIMADZU島津分子泵

島津TPM主要用于為制造半導(dǎo)體器件、太陽能電池和平板顯示器提供高真空環(huán)境。
島津生產(chǎn)的TMP具有國際水準(zhǔn)的氣體吞吐量和抽氣速度，可滿足日益嚴(yán)格的半導(dǎo)體制造的工藝需求。例如，使制造商能夠在大面積硅片上沉積和蝕刻半導(dǎo)體薄膜。

通過渦輪機(jī)的高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生真空環(huán)境，TMP的抽真空效果已達(dá)到分子流級。制造半導(dǎo)體和平板顯示器需要清潔、無油的真空環(huán)境，以保持出色的設(shè)備操作狀態(tài)。島津提供的技術(shù)性能、可靠性和全球技術(shù)支持網(wǎng)絡(luò)使島津TMP成為這類應(yīng)用領(lǐng)域中的組成部分。島津生產(chǎn)多陣容TMP產(chǎn)品系列。各系列產(chǎn)品具有不同的用途。

除溫度控制功能和特殊耐腐蝕涂層外，具備高氣體吞吐量的TMP-2404/3304/4304系列的抽速范圍為2100 L/s至4400 L/s，具有潛在的多種應(yīng)用領(lǐng)域。
外形緊湊節(jié)能型TMP-X1605/V2304系列中的每一種型號的TMP均具備集成電源組件，其功耗比具有獨立電源組件的型號低15 ％。
除集成電源外，TMP-X3405/X4304系列還具備溫度控制功能和耐腐蝕涂層，能滿足制造半導(dǎo)體和平板顯示器（FPD）中對工藝流程的嚴(yán)格要求。
此外，TMP-203至1003系列的眾多產(chǎn)品還具備出色的壓縮比和極限壓力水平，可實現(xiàn)高真空。

shimadzu島津磁懸浮渦輪分子泵TMP-3003LM

日本島津磁懸浮軸承渦輪分子泵采用五軸控制磁性軸承系統(tǒng)，無需使用油潤滑，在運轉(zhuǎn)過程當(dāng)中，無任何摩擦，是真正做到無油、免維護(hù)、安裝的渦輪分子泵。

提供Shimadzu TURBO Pump 日本島津TMP全系列分子泵銷售/維修/保養(yǎng)                                                

Shimadzu TURBO Pump 日本島津分子泵維修、保養(yǎng)的部分型號:  

TMP-X系列 TMP-X2905LMTC、TMP-X3405LMTC

TMP-LMTC系列 TMP-3403LMTC、TMP-4203LMTC

TMP-MP/MPC系列 TMP-1103MP、TMP-1103MPC

TMP-LMP/LMPC系列 TMP-1103LMP、TMP-1103LMPC

TMP-B/SER系列 TMP50、TMP-B300、TMP280-SER

TMP-I/L-SER系列 TMP280-I-SER、TMP280-L-SER、TMP1500-L-SER

TMP-UE/LM-SER系列 TMP802-LM-SER、TMP-2001-UE-SER、TMP-3001-LM-SER

TMP-V系列

TMP-V1704LM、TMP-V2304LM、TMP-V2304LM (PB) 、TMP-V3304LM、TMP-V3304LM(F)

TMP-LMF/ LMB系列

TMP-1503LMF、TMP-2804LMB/LMF、TMP-3304LMB/LMF、TMP-3403LMB/LMF、TMP-4304LMB/ LMF、TMP-3804LMF/LMC

TMP-M/MC系列 TMP-203M/MC、TMP-203M-G1TMP-303M/MC、TMP-403M/MC、TMP-803M/MC、TMP-1003M/MC、TMP-1003MC-U2、TMP-1303M/MC、TMP-1503LMP/LMC、TMP-2003M/MC、TMP-2003MC-U2、TMP-2003MC-U1、TMP-2203M/MC、TMP-3203M/MC

TMP-LM/LMC系列

TMP-203LML/LMC、TMP-303LM/LMC、TMP-403LM/LMC、TMP-803LM/LMC、TMP-803LM-G1、TMP-1003LM/LMC、TMP-1303LM/LMC、TMP-1303LMC-G1、TMP-1503LM、TMP-2003LM/LMC、TMP-2003LM-3、TMP-2203LM/LMC、TMP-2804LM/LMC、TMP-3003LM/LMC、TMP-3203LM/LMC、TMP-3203LMC-A1、TMP-3303LM/LMC、TMP-3304LM/LMC、TMP-3403LM/LMC、TMP-3403LMC-K1、TMP-H3603LMC、TMP-H3603LMC-A1、TMP-H3606LM、TMP-3804LMC、TMP-4203LMC、TMP-4203LMC-T1、TMP-4304LM/LMC