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瑞士VAT蝶形控制真空閥61.3系列快速精確

參   考   價(jià): ￥ 5000 ￥ 4900

訂  貨  量: 1 個(gè) ≥2 個(gè)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所  在  地北京市

更新時(shí)間：2026-02-02 18:18:13瀏覽次數(shù)：105次

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瑞士VAT蝶形控制真空閥61.3系列快速精確
瑞士 VAT 高真空蝶形控制閥 61.3 系列是一款用于高真空環(huán)境的精密控制閥門(mén)

瑞士VAT蝶形控制真空閥61.3系列快速精確

瑞士VAT蝶形控制真空閥61.3系列快速精確

瑞士 VAT 高真空蝶形控制閥 61.3 系列是一款用于高真空環(huán)境的精密控制閥門(mén)，以下是其詳細(xì)介紹1：

  • 產(chǎn)品特點(diǎn)：

    • 精準(zhǔn)壓力控制：配備快速精確的動(dòng)作控制器，能在 0.1 秒內(nèi)做出響應(yīng)，可快速、精準(zhǔn)地控制下游壓力，是化學(xué)氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）等工藝中精細(xì)控制的理想解決方案。

    • 適應(yīng)惡劣環(huán)境：專(zhuān)為氣流中含有顆粒的惡劣下游工藝設(shè)計(jì)，即使在高顆粒負(fù)載和碎屑堆積的情況下，也能保持完-全運(yùn)行。

    • 可靠性高：該系列閥門(mén)已在數(shù)千個(gè)苛刻的應(yīng)用中安裝，經(jīng)過(guò)各種工藝條件的驗(yàn)證，具有出色的可靠性。其設(shè)計(jì)堅(jiān)固，提供直接安裝選項(xiàng)，且維護(hù)簡(jiǎn)便，可降低運(yùn)營(yíng)成本。

    • 靈活性強(qiáng)：提供多種設(shè)計(jì)選項(xiàng)，包括不同的閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應(yīng)、固定 PI 下游 / 軟泵），便于集成到各種真空應(yīng)用中。

  • 技術(shù)參數(shù)：

    • 尺寸：提供 DN 25（1’’）、DN 40（1?’’）、DN 50（2’’）、DN 63（2?"）、DN 80（3"）、DN 100（4"）、DN 160（6"）、DN 200（8"）、DN 250（10"）、DN 320（12"）等多種規(guī)格。

    • 閥體材料：有鋁和不銹鋼兩種材質(zhì)可供選擇。

    • 法蘭連接：標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-KF 和 ISO-F，也可根據(jù)客戶(hù)需求提供特定法蘭。

    • 壓力范圍：工作壓力范圍為 1×10?? mbar 至 1.2 bar（絕-對(duì)壓力）。

    • 泄漏率：鋁制閥體和不銹鋼閥體的泄漏率均小于 1×10?? mbar?l?s?1。

    • 使用壽命：在壓力控制模式下，首-次維護(hù)前的循環(huán)次數(shù)可達(dá) 200 萬(wàn)次。

    • 溫度范圍：閥體溫度≤150°C，控制器最-高溫度為 50°C（建議≤35°C）。




瑞士VAT蝶形控制真空閥61.3系列快速精確

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