目錄:徠飛光電科技(深圳)有限公司>>波前分析設(shè)備>>波前應(yīng)用系統(tǒng)>> 光學(xué)元件形貌測試系統(tǒng)
KALEO MULTIWAVE光學(xué)元件形貌測試系統(tǒng)是Phasics推出的一款多波長動態(tài)干涉儀，該產(chǎn)品應(yīng)用了Phasics的橫向四波剪切干涉技術(shù),可以實現(xiàn)動態(tài)的波前測量，從而快速得到樣品的表面形貌信息;而且該技術(shù)的自消色差的特性,讓系統(tǒng)可以支持多個工作波長,有效避免傳統(tǒng)干涉儀測試波長跟工作波長不同帶來的誤差問題，特別針對濾光片，可以實現(xiàn)傳統(tǒng)干涉儀無法實現(xiàn)的TWE的測試。
應(yīng)用領(lǐng)域：濾光片TWE檢測
反射鏡RWE檢測
雷達保護窗口檢測
圖2、5英寸帶通濾光片的RWE
圖3、940nm的鏡子面型
圖4、645nm帶通濾光片TWE
斐索干涉儀 Kaleo Multiwave
圖5、斐索干涉儀和KaleoMultiwave的測試結(jié)果對比
測試結(jié)果對比表
FIZEAU | PHASICS | ||
直徑（mm） | 124.9 | 125.4 | |
RWE(nm PTV) | 1498.13 | 1535.38 | |
RWE (nm RMS) without PST/TLT/PWR | 35.2 | ||
RWE (nm RMS) without ST/TLT/PWR/AST/CMA/SA | 9.1 | ||
SAG(fr) | 5.13 | 5.04 | |
IRR(fr) | 0.75 | 0.61 | |
RSI (fr) | 0.34 | 0.23 | |
RMSt (fr) | 1.477 | 1.459 | |
RMSi (fr) | 0.129 | 0.103 | |
RMSa (fr) | 0.085 | 0.059 | |
光學(xué)元件形貌測試系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格
KALEO Multiwave技術(shù)規(guī)格 | |
配置 | 雙透射 |
測試功能 | RWE反射表面形貌 TWE透射器件 |
最多可支持波長 | 標(biāo)配2個波長；最多可以8個波長 |
定制波長 | 從193nm到14um可選 紫外：266nm，355nm，405nm VIS/NIR：550nm，625nm，780nm，940nm，1050nm SWIR/MWIR/LWIR:1.55um,2.0um,3.39um,10.6um |
通光口徑 | 130mm |
光路中心高度 | 108mm |
調(diào)試模式 | 實時相位及澤尼克系數(shù)顯示 |
FOV調(diào)整范圍 | +/- 2° |
尺寸和重量 | 910x600x260 mm3 , 25kg |
隔震要求 | 無 |
重復(fù)性（RMS） | <0.7nm(<λ/900) |
精度 | 80nmPV |
動態(tài)范圍(defocus) | 500 fringes SFE=150um |
反射率 | ~4% - 99% |
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