中村供應(yīng)：Fujikin富士壓力式流量控制器

LGFM8000 是富士金 FCS® 系列的壓力式流量控制器（FCSP8000 系列），專為半導(dǎo)體、光伏等高純工藝的高精度、抗壓力波動(dòng)流量控制設(shè)計(jì)。

中村供應(yīng)：Fujikin富士壓力式流量控制器

一、型號與定位

• 型號：LGFM8000（屬 FCSP8000 系列）

• 類型：壓力式流量控制器（FCS®），非傳統(tǒng)熱式 MFC

• 原理：通過控制臨界流孔前壓力實(shí)現(xiàn)流量穩(wěn)定，不受供氣壓力波動(dòng)影響

• 適用：高純氣體（N?、Ar、O?、特殊氣體等）、半導(dǎo)體刻蝕 / 沉積、光伏 PECVD 等

二、核心參數(shù)（標(biāo)準(zhǔn)型）

• 流量量程：10 SCCM～2.4 SLM（N? 換算）

• 控制范圍：2%～100% F.S.

• 流量精度：±1.0% S.P.（10%～100% 設(shè)定）；±0.1% F.S.（1%～10% 設(shè)定）

• 響應(yīng)時(shí)間：≤0.5 秒（100%→4% 階躍）

• 供氣壓力：250～898.7 kPaG（0.25～0.9 MPa）

• Zui大耐壓：0.89 MPaG

• 工作溫度：0～50℃（精度保證：15～35℃）

• 接口：1/4" UJR 高純接頭（兼容 6.35mm 管路）

• 材質(zhì)：SUS316L EP/MP、鎳鈷合金；密封：金屬密封

• 潔凈度：1 級禁油、超高純

• 供電：+11～+25 VDC；通信：DeviceNet、EtherCAT、RS485

三、核心特點(diǎn)

1. 壓力波動(dòng)免疫（PI 功能）

   供氣壓力大幅波動(dòng)時(shí)，流量仍保持穩(wěn)定，che底解決傳統(tǒng) MFC 易受壓力干擾的問題。
2. 超高速響應(yīng)

   響應(yīng) ≤0.5 秒，調(diào)節(jié)無超調(diào)，適配頻繁切換、快速穩(wěn)定的制程需求。
3. 超高精度與低量程穩(wěn)定性

   低流量段（1%～10% F.S.）精度達(dá) ±0.1% F.S.，適合微量、精密氣體控制。
4. 多氣體 / 多量程（MGMR）

   內(nèi)置流量系數(shù)，可快速切換氣體與量程，減少備品、提升產(chǎn)線柔性。
5. 流量自診斷

   內(nèi)置診斷功能，實(shí)時(shí)監(jiān)測流量狀態(tài)，提前預(yù)警異常，提升設(shè)備可靠性。
6. 安裝無姿態(tài)限制

   任意角度安裝不影響精度，簡化設(shè)備集成與布局。
7. 超高純與低泄漏

   金屬密封、禁油處理，外漏 ≤1×10?1? Pa·m3/s，適配最嚴(yán)苛高純工藝。

四、典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體：刻蝕、CVD、ALD、離子注入、濺射的高純氣體控制

• 光伏：PECVD、PVD、擴(kuò)散、退火工藝的載氣 / 保護(hù)氣控制

• 面板：OLED、LCD 制程的精密氣體流量控制

• 實(shí)驗(yàn)室：氣相色譜、質(zhì)譜、材料合成的高精度供氣