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ART95系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)是納米級(jí)定位精度的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)100Hz以上。行程...

SMH225LM系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)采用直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，直驅(qū)電機(jī)的特點(diǎn)是速度快、動(dòng)態(tài)性能好、摩擦力小，易于實(shí)現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應(yīng)用。S...

SMH190LM系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)采用直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，直驅(qū)電機(jī)特點(diǎn)主要有速度快、動(dòng)態(tài)性能好、摩擦力小，易于實(shí)現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應(yīng)用。...

SMH165LM系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)采用直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，直驅(qū)電機(jī)速度快、動(dòng)態(tài)性能好、摩擦力小，易于實(shí)現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應(yīng)用。SMH16...

SMH115LM系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)采用直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，直驅(qū)電機(jī)速度快、動(dòng)態(tài)性能好、摩擦力小，易于實(shí)現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應(yīng)用。平臺(tái)使用高...

PM系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)-XY是亞微米級(jí)定位精度的XY一體式精密定位平臺(tái)，直線(xiàn)電機(jī)直驅(qū)控制，采用兩軸一體式結(jié)構(gòu)，具備非常優(yōu)秀的性能和重復(fù)定位精度，雙向重復(fù)精度小...

CFT-XY系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)-XY是納米級(jí)定位精度的XY一體式精密定位平臺(tái)，直線(xiàn)電機(jī)直驅(qū)控制，采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截...

ART180系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)是納米級(jí)定位精度的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)100Hz以上。A...

ART130系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)是納米級(jí)定位精度的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)100Hz以上。行...

ART95XY系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)-XY是納米級(jí)定位精度的XY一體式運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)...

ART130LZ系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)-Z向單軸是納米級(jí)定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)...

ART95XYZ系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)-XYZ是納米級(jí)定位精度的XYZ一體式運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻...

ART95SZ系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)-Z向單軸是納米級(jí)定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，無(wú)齒槽直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率...

ART95LZ系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)-Z向單軸是納米級(jí)定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，無(wú)齒槽直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率...

ACT85LM系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)采用直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，直驅(qū)電機(jī)速度快、動(dòng)態(tài)性能好、摩擦力小，易于實(shí)現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應(yīng)用。ACT85L...

ONEXY系列 直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械臺(tái)-XY是納米級(jí)定位精度的XY一體式精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用開(kāi)放式結(jié)構(gòu)，具備非常優(yōu)秀的性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)120...

MicroL-Z系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是亞微米級(jí)定位精度的XYZ一體式精密定位平臺(tái)，采用三軸一體式結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)客戶(hù)要求分離成大中空的XY軸和單獨(dú)的Z軸。Micro...