MBE-2000 分子束外延系統(tǒng)是一款批量生產(chǎn)型分子束外延系統(tǒng)，可實現(xiàn) 9×4 英寸、4×6 英寸等多種規(guī)格襯底的外延生長，具備樣品傳送、束流標(biāo)定、外延生長等全自動化功能，支持 24/7 批量化生產(chǎn)模式，并配備 RHEED 等原位監(jiān)測系統(tǒng)實時監(jiān)控生長狀態(tài)，適用于化合物半導(dǎo)體芯片等領(lǐng)域的批量生產(chǎn)。

MBE-2000 分子束外延系統(tǒng)特點：

批量生產(chǎn)型MBE系統(tǒng)，經(jīng)濟高效產(chǎn)量高

外延9×4inch，4×6inch，15×3inch和32×2inch襯底；MBE日常工作全自動化：樣品傳送，束流標(biāo)定，外延生長等；可實現(xiàn)24/7批量化生產(chǎn)模式。

配備原位監(jiān)測系統(tǒng)，實時監(jiān)控生長狀態(tài)

反射式高能電子衍射儀(RHEED)，束流規(guī)(BFM)，殘余氣體分析(RGA)，預(yù)留更多原位監(jiān)測設(shè)備安裝口，保留升級拓展能力。

系統(tǒng)占地空間小，容許雙生長腔模塊

模塊化腔室結(jié)構(gòu)系統(tǒng)占地空間小于同類型MBE系統(tǒng)，可支持兩個生長腔模塊，極大提高產(chǎn)量并允許不兼容的材料體系生長。

系統(tǒng)操作簡單，平均運行周期長

系統(tǒng)操作便捷，界面簡潔友好，自帶安全互鎖報警及防誤觸功能，模塊化多腔室構(gòu)型為各個腔室配備獨立的泵組及閘板閥，維護輕松方便，保證系統(tǒng)正常運行時長。