Fiji ALD原子層沉積系統(tǒng)是一種模塊化、高真空熱原子層沉積系統(tǒng)，采用靈活的架構(gòu)和多種前驅(qū)體和等離子體氣體配置，可適應(yīng)各種沉積模式。Fiji ALD是下一代 ALD 系統(tǒng)，能夠執(zhí)行熱成像和等離子體增強(qiáng)沉積。

我們應(yīng)用了的計算流體力學(xué)分析，優(yōu)化Fiji ALD反應(yīng)堆、加熱器和陷阱幾何結(jié)構(gòu)。系統(tǒng)的直觀界面使得監(jiān)控和根據(jù)需要更改配方和流程變得輕松。

Fiji ALD原子層沉積系統(tǒng)的功能包括：

專有腔室渦輪泵系統(tǒng)                       

改進(jìn)等離子體設(shè)計                

人體工學(xué)界面                                       

原位橢偏度                    

原位石英晶體微觀天平                                           

綜合臭氧                   

手套箱接口                                             

Fiji ALD提供最多六條前驅(qū)體管線，可容納固體、液體或氣體前驅(qū)體，以及六條等離子體氣體管線，在緊湊且經(jīng)濟(jì)的占地內(nèi)提供顯著的實驗靈活性。