產(chǎn)品簡介
| 價格區(qū)間 |
5萬-10萬 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
化工,能源,航空航天,電氣,綜合 |
日本現(xiàn)貨 EBARA荏原干式真空泵 玉崎科學(xué)
1：高節(jié)能性
2：高負(fù)荷適應(yīng)性
3：耐腐蝕性能好
4：智能控制
5：清潔無油
6：運行穩(wěn)定可靠
7：靈活便捷
產(chǎn)品介紹
荏原 干式真空泵，以下從其性能參數(shù)、產(chǎn)品特點、應(yīng)用領(lǐng)域等方面進行介紹：
性能參數(shù)2
抽氣速度：1800L/min，能夠快速有效地抽取氣體，提高工作效率。
極限壓力：可達 5Pa，可滿足對真空度要求較高的工藝需求。
功率：極限壓力下的近似功率值為 1.2kW，相比同類型產(chǎn)品，節(jié)能效果明顯。
電源：有 3 相 / 200V/50Hz、3 相 / 200-220V/60Hz 以及 3 相 / 380-400V/50Hz、3 相 / 380-440V/60Hz 多種電源規(guī)格可供選擇，適配不同的工作環(huán)境。
外形尺寸：370×770×450mm，整體結(jié)構(gòu)較為緊湊，占地面積小，便于安裝和布置。
質(zhì)量：170kg，質(zhì)量適中，方便運輸、安裝和維護。
冷卻水流量：3-8L/min，溫度最多 30℃，通過合理的冷卻水流量和溫度控制，保證泵的穩(wěn)定運行。
氮氣流量：26-31Pa?m3/s，為泵的運行提供必要的氮氣支持。
產(chǎn)品特點
高節(jié)能性：采用優(yōu)良的設(shè)計和技術(shù)，如根部轉(zhuǎn)子裝置與高扭矩電動機和逆變器的結(jié)合，使泵在運行過程中能耗低，節(jié)能，有效降低使用成本68。
高負(fù)荷適應(yīng)性：專為苛刻的過程應(yīng)用而設(shè)計，具有獨特的溫度控制和按需轉(zhuǎn)矩運行能力，能夠在高負(fù)載條件下穩(wěn)定運行，滿足半導(dǎo)體、液晶、太陽能電池制造等行業(yè)中高負(fù)荷工藝的需求68。
耐腐蝕性能好：標(biāo)準(zhǔn)采用耐腐蝕性材料，還可提供進一步的耐腐蝕性改進選項，能夠有效抵抗蝕刻、CVD 等工藝中產(chǎn)生的腐蝕性氣體的侵蝕，延長泵的使用壽命，確保運行安全可靠2。
智能控制：搭載高性能通信機能，采用高度制御方式，具備 - 9 保持功能和 -Δ 履歷分化功能，可實現(xiàn)對泵的遠(yuǎn)程監(jiān)控和精確控制，方便操作和管理，提高生產(chǎn)過程的自動化程度1。
清潔無油：干式設(shè)計，避免了潤滑油對工藝過程的污染，符合半導(dǎo)體、制藥等對潔凈度要求的行業(yè)的生產(chǎn)需求，能夠提供無油的真空環(huán)境，保證產(chǎn)品質(zhì)量5。
運行穩(wěn)定可靠：多階段葉瓣設(shè)計，相比螺桿式真空泵具有更高的氫氣抽速，且運行更加穩(wěn)定，能夠提供可靠的真空度，減少設(shè)備故障和停機時間3。
靈活便捷：在 50Hz 和 60Hz 不同頻率下具有相同的性能，適用性強；同時，泵的安裝和維護較為方便，模塊化設(shè)計便于快速更換部件，縮短維修時間，降低維護成本25。
應(yīng)用領(lǐng)域5
半導(dǎo)體制造：在離子注入、外延生長、光刻等工藝中，為其提供無油、高真空度的環(huán)境，防止晶圓污染，保證半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和性能。
新能源電池生產(chǎn)：用于鋰電極片干燥、電解液注液等環(huán)節(jié)，避免油蒸汽對電池性能的影響，其低振動設(shè)計也可保護精密設(shè)備，有助于提高電池的生產(chǎn)質(zhì)量和一致性。
化工領(lǐng)域：可用于處理揮發(fā)性有機物（VOCs）回收，耐腐蝕的泵體能夠抵抗酸性氣體侵蝕，直接排大氣設(shè)計還可簡化廢氣處理流程，同時也適用于其他需要真空環(huán)境的化工工藝，如蒸餾、萃取等。
其他領(lǐng)域：還廣泛應(yīng)用于一般真空、光伏、液晶顯示等行業(yè)，如在光伏產(chǎn)業(yè)的硅片制造、薄膜沉積等工藝中，以及液晶顯示面板生產(chǎn)中的鍍膜、封裝等環(huán)節(jié)，都能發(fā)揮重要作用，為這些行業(yè)的生產(chǎn)過程提供穩(wěn)定可靠的真空支持。
中級會員·2年
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
￥99990
