連續(xù)化學(xué)品樣品檢測實(shí)驗(yàn)室 CSI_Lab 

化學(xué)分析實(shí)驗(yàn)室在實(shí)驗(yàn)室中監(jiān)測半導(dǎo)體工藝中的化學(xué)物質(zhì)

連續(xù)化學(xué)采樣檢測（CSI）是一個(gè)用于監(jiān)測半導(dǎo)體行業(yè)中使用的化學(xué)品中微量金屬雜質(zhì)的系統(tǒng)。

在半導(dǎo)體器件制造中，許多不同類型的化學(xué)物質(zhì)被用于不同的目的，而化學(xué)物質(zhì)中的金屬雜質(zhì)會導(dǎo)致器件故障。

由于單片晶圓加工越來越普及，清洗和蝕刻過程中的交叉污染風(fēng)險(xiǎn)越來越小。相反，散裝化學(xué)品的污染會造成巨大的生產(chǎn)損失。散裝化學(xué)品的污染可能發(fā)生在將化學(xué)品從卡車或罐轉(zhuǎn)移到儲罐的過程中，或者在更換過濾器之后。

為避免化學(xué)品中的任何污染風(fēng)險(xiǎn)，化學(xué)源檢測公司（CSI）已使用一臺電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）對不同儲罐中的金屬雜質(zhì)進(jìn)行 24/7 的連續(xù)監(jiān)測。當(dāng)有卡車到來時(shí)，會立即對卡車上的樣本進(jìn)行分析，緊接著對當(dāng)前樣本進(jìn)行分析。

◆在線接口軟件（OIS） - OIS 是一款智能軟件，用于控制每個(gè)閥、自動進(jìn)樣器和電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）。ICP-MS 用作檢測器，包括校準(zhǔn)曲線在內(nèi)的所有信息均由 OIS 管理。

OIS 具有以下功能

通過簡化的標(biāo)準(zhǔn)加入法進(jìn)行自動校準(zhǔn)和重新校準(zhǔn)。

- 檢查校準(zhǔn)曲線的相關(guān)系數(shù)、最小靈敏度、標(biāo)準(zhǔn)偏差（SD）和相對標(biāo)準(zhǔn)偏差（RSD），以及如果結(jié)果超出限值時(shí)的自動重新分析功能。

定期檢查質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)（QC）。

- 兩個(gè)濃度上限，以及警報(bào)和輸出信號的產(chǎn)生。

在當(dāng)前樣本之后插入卡車或罐式樣本。

- 針對每種化學(xué)物質(zhì)更改電感耦合等離子體質(zhì)譜法（取決于電感耦合等離子體質(zhì)譜儀型號）。

每個(gè)樣本的濃度和計(jì)數(shù)的趨勢圖。

- 離線樣本分析

- 與遠(yuǎn)程接口的通信（可選）