感受3D體驗(yàn)，Sensofar3D光學(xué)輪廓儀，為您展現(xiàn)全新的3D立體形貌

　　SENSOFAR在1999年創(chuàng)立之初，干涉顯微鏡就是以三維表面形貌測(cè)量為主要研發(fā)方向，通過持續(xù)不斷地研發(fā)和申請(qǐng)技術(shù)，創(chuàng)造了數(shù)百種表面形貌測(cè)量應(yīng)用產(chǎn)品，積累了豐富的技術(shù)實(shí)力。

　　全新設(shè)計(jì)的Sensofar三維共聚焦白光干涉輪廓儀Sneox，將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)融于一身，測(cè)量頭內(nèi)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件，拓展了3D測(cè)量的范圍。

　　Sensofar三維共聚焦白光干涉輪廓儀Sneox能夠測(cè)量不同的材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測(cè)量應(yīng)用。Sensofar的核心是將3種測(cè)量方式融于體，確保了其性能。配合SensoSCAN軟件系統(tǒng)，用戶將獲得難以置信的直觀操作體驗(yàn)。

　　SENSOFAR公司開創(chuàng)性地將共聚焦和干涉技術(shù)結(jié)合在起，無(wú)需插拔任何硬件就可以在軟件內(nèi)自動(dòng)實(shí)現(xiàn)共聚焦、白光干涉和相位差干涉模式的切換。使客戶無(wú)需花費(fèi)高昂的費(fèi)用就能同時(shí)擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀。

　　一、產(chǎn)品特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)

　　1.共聚焦模式

　　干涉顯微鏡技術(shù)可以用來(lái)測(cè)量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率，可達(dá)0.14um.利用它可以實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）。

　　共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。

　　2.相位差干涉模式

　　相位差干涉是一種亞納米級(jí)精度的用于測(cè)量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于可實(shí)現(xiàn)的放大倍數(shù)內(nèi)都可以保證亞納米級(jí)的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實(shí)現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場(chǎng)測(cè)量。

　　3.白光干涉干涉模式

　　白光干涉是一種納米級(jí)測(cè)量精度的用于測(cè)量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于可實(shí)現(xiàn)的放大倍數(shù)內(nèi)都可以保證納米級(jí)的縱向分辨率。

　　4.多焦面疊加模式

　　多焦面疊加技術(shù)是用來(lái)測(cè)量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)我們?cè)诠簿劢购透缮婕夹g(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，特別設(shè)計(jì)了此功能來(lái)補(bǔ)足低倍共聚焦測(cè)量的需要。該技術(shù)的亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大(<86°)。此功能對(duì)工件和模具測(cè)量特別有用。

　　5.真彩色共聚焦圖像

　　每個(gè)像素點(diǎn)都能還原真實(shí)的色彩。在掃描時(shí)紅、綠、藍(lán)三色LED交替照明，并將三張單色的圖片還原成一幅高分辨率的彩色圖像。相比其他品牌采用像素插值算法，Sneox用這種技術(shù)獲得的圖片色彩保真度和還原性更優(yōu)。

　　6.3D形貌的新體驗(yàn)清晰的細(xì)節(jié)，用高分辨率的攝像頭將共聚焦的圖像精彩呈現(xiàn)。

　　7.清晰的細(xì)節(jié)將納米世界呈現(xiàn)給您，用高分辨率的攝像頭將共聚焦的圖像精彩呈現(xiàn)。

　　8.多樣的配置方案-平臺(tái)尺寸（從4寸到12寸）標(biāo)準(zhǔn)尺寸支架：

　　大尺寸支架：

　　二、應(yīng)用實(shí)例