J-50MUV-248 W DIFFUSER能量計(jì)

采用MaxUV涂層的EnergyMax傳感器專門針對(duì)193納米工作的ArF激光器和248納米工作的KrF激光器進(jìn)行了優(yōu)化。這些傳感器具有高精度和大有效區(qū)域（直徑達(dá)50毫米），并采用了一種名為MaxUV的獨(dú)特涂層，可提供ZHUO越的長(zhǎng)期損傷耐受性。

J-50MUV-248 w/Diffuser是一款專門針對(duì)248nm工作的激光器測(cè)試的能量計(jì)探頭。配備了深紫外石英擴(kuò)散器，以增強(qiáng)對(duì)涂層損傷的耐受性。

J-50MUV-248 with Diffuser（帶擴(kuò)散器）

SKU 1110572

500 μJ 至 1J 脈沖能量探頭，重復(fù)率高達(dá) 200 pps，光譜范圍為 0.19 至 0.266 μm，有效區(qū)域直徑為 50 mm。

帶有 MaxUV 涂層和擴(kuò)散器的熱釋電能傳感器，用于以高達(dá) 200 pps 的速度測(cè)量 500 μJ 至 1J 的激光脈沖。

主要特征：

193 至 266 nm 光譜范圍

50 mm 有效區(qū)域直徑

500 μJ 至 1J 能量范圍

200 pps 重復(fù)率

ISO 17025 認(rèn)證

型號(hào)  :  J-50MUV-248    帶擴(kuò)散器    

能量范圍 :   500   µJ 至 1J    

噪聲等效能量 (µJ):    <16    

波長(zhǎng)范圍 (µm)  :  0.19   至 0.266    

有效區(qū)域直徑 (mm):    50    

*大平均功率 (W)1 :   15    

*大脈沖寬度 (µs)  :  86    

*大重復(fù)頻率 (pps) :   200    

*大能量密度 (mJ/cm2):    520   (@248 nm)（在10納秒條件下）    

探測(cè)器涂層 :   MaxUV    

擴(kuò)散器  :  深紫外石英擴(kuò)散器    

校準(zhǔn)波長(zhǎng) (nm):    248    

校準(zhǔn)不確定度 (%) (k=2) :   ±3    

能量線性度 (%)  :  ±3    

線纜長(zhǎng)度 (米)2  :  2.5    

線纜類型 :   J   DB-25    

部件號(hào)  :  1110572**