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2025
12-05

低蒸氣壓控制器：賦能薄膜工藝，助力產(chǎn)業(yè)升級
在薄膜制作工藝中，某些金屬有機(jī)化合物（MOCs）、氫化物、氨氣等前驅(qū)體蒸氣壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓（760Torr），在常溫下很難蒸發(fā)。這些前驅(qū)體需要被輸送到化學(xué)氣相沉積(CVD)反應(yīng)器中，傳統(tǒng)的方法是，使用溶劑/溶質(zhì)化學(xué)和液體輸送。某些固體前驅(qū)體有溶解度限制，這影響了輸送到工藝腔的最大質(zhì)量流量。我們采用了先進(jìn)的壓力測量和控制技術(shù)，可直接控制固體前驅(qū)體蒸汽的輸送，無需使用溶劑，從而實現(xiàn)精確、可重復(fù)的輸送，讓薄膜材料制備更加高效。針對不同領(lǐng)域?qū)α髁糠秶男枨螅覀兊牡驼魵鈮嚎刂破鲀?nèi)置了強(qiáng)大的CPU，可
2025
11-26

液體壓力的精準(zhǔn)控制
我司液體壓力控制器配備了高性能傳感器和數(shù)字電路板，可提供更高精度和性能的壓力控制，通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程，除了標(biāo)配的Modbus協(xié)議外，還支持Profibus、Profinet等協(xié)議。案例參數(shù)：介質(zhì)：液體、入口壓力：22MPa、控出口壓力、水流量：2L/min。在視頻中，我們使用水流量為2L/min且入口壓力強(qiáng)度達(dá)到了22MPa的工況下，對出口壓力進(jìn)行調(diào)控。模擬使用了各個不同壓力段的控制使用情況，通過監(jiān)控儀表顯示的控制界面，可發(fā)現(xiàn)無論是何種設(shè)定都能保證穩(wěn)定的控制效果。我司此款壓
2025
11-21

可自動控制上下游壓力的壓力調(diào)節(jié)器
我司的壓力控制器為直通式設(shè)計，量程范圍從100Pa到40MPA（絕壓和表壓皆可）。此外，還可提供差壓變送器。該系列儀表精確度高、重復(fù)性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。標(biāo)配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量和控制。該基本數(shù)字PC板具有測量和控制所需的所有基本功能。除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，還可提供模擬I/O信號。此款產(chǎn)品的壓力傳感器是處于硅芯片表面的壓敏電阻橋。該芯片從其背面鉆出，給芯片內(nèi)部形成壓力隔膜，其厚度決定壓力范圍。當(dāng)壓力作用于芯片時，壓膜彎曲，
2025
11-03

質(zhì)量流量控制器的閉環(huán)控制邏輯：如何實現(xiàn)毫秒級響應(yīng)？
質(zhì)量流量控制器（MFC）的毫秒級響應(yīng)能力，源于其內(nèi)部一個高度集成和優(yōu)化的閉環(huán)控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)的核心目標(biāo)是讓氣體的實際流量瞬時且精確地跟蹤設(shè)定值，其邏輯是一個持續(xù)運行的“測量-比較-校正”微循環(huán)。一、閉環(huán)控制邏輯的核心環(huán)節(jié)測量：MFC采用熱式原理（主流）直接測量質(zhì)量流量。傳感器將氣體流動導(dǎo)致的熱量變化轉(zhuǎn)化為電信號，該信號經(jīng)放大和數(shù)字化后，作為系統(tǒng)當(dāng)前的實際流量值。比較：內(nèi)部的微處理器（MCU）將數(shù)字化后的實際流量值與外部輸入的設(shè)定值進(jìn)行實時比較，計算出瞬時誤差。校正：MCU將誤差信號送入其核心的控
2025
10-31

帶流量控制功能的科里奧利質(zhì)量流量計
科里奧利質(zhì)量流量計（CoriolisMassFlowmeter）簡稱科氏力流量計，是一種利用流體在振動管道中流動時產(chǎn)生與質(zhì)量流量成正比的科里奧利力原理來直接測量質(zhì)量流量的裝置，由流量檢測元件和轉(zhuǎn)換器組成。科里奧利質(zhì)量流量計實現(xiàn)了質(zhì)量流量的直接測量，具有高精度，可測多重介質(zhì)和多個工藝參數(shù)的特點，廣泛應(yīng)用于石化，制藥，食品等行業(yè)。我司經(jīng)過多年經(jīng)驗積累，并結(jié)合國外技術(shù)，研制了帶顯示屏的帶流量控制功能的科里奧利質(zhì)量流量計，傳統(tǒng)的科里奧利質(zhì)量流量計以高精度流量測量被熟知，但往往只是精準(zhǔn)測量流量，不能實現(xiàn)自
2025
10-10

超臨界流體流量計：高壓、高密度介質(zhì)下的測量技術(shù)綜述
超臨界流體，如超臨界二氧化碳（SC-CO?），憑借其獨特的物理性質(zhì)，在萃取、染色、發(fā)電和碳捕獲等工業(yè)與科研領(lǐng)域應(yīng)用日益廣泛。然而，當(dāng)其處于臨界點附近時，微小的溫度或壓力波動都會引發(fā)密度、粘度等物性的劇烈變化，這給精確的流量測量帶來了的挑戰(zhàn)。本文旨在綜述在此類嚴(yán)苛工況下的主流測量技術(shù)。一、核心測量挑戰(zhàn)超臨界流體流量測量的核心難點在于其物性的非線性和不穩(wěn)定性。傳統(tǒng)的流量儀表通?；诠潭ǖ牧黧w物性參數(shù)進(jìn)行標(biāo)定，而超臨界流體的密度并非定值，這導(dǎo)致依賴于體積流量測量的儀表（如渦輪流量計）精度嚴(yán)重下降。此外
2025
09-26

案例分享 ∣ ACCU高精度質(zhì)量流量計成功應(yīng)用于-196℃超低溫流體
近十年來，隨著液氮技術(shù)在航天航空、生物醫(yī)藥、自動化制造等領(lǐng)域的深度滲透，超低溫環(huán)境下樣本存儲與工藝控制的精準(zhǔn)性已成為行業(yè)核心訴求。然而，傳統(tǒng)監(jiān)測手段長期面臨著以下瓶頸：常規(guī)質(zhì)量流量計僅支持-40℃~+80℃區(qū)間，無法滿足液氮沸點（-196℃）下的穩(wěn)定運行需求；部分流量計長期處于此類特殊環(huán)境中，由于儲罐內(nèi)外的劇烈的溫差條件，容易導(dǎo)致測量精度明顯下降或數(shù)據(jù)漂移，使流量計失靈，從而導(dǎo)致測量不準(zhǔn)、生產(chǎn)中斷，造成重大損失。解決方案為應(yīng)對上述嚴(yán)苛工況的挑戰(zhàn)，ACCU（北京精量科技）憑借十余年流體測控技術(shù)的積
2025
09-19

密閉容器的壓力調(diào)節(jié)
這款壓力控制器集成了兩個電磁閥，進(jìn)氣閥將過程氣體引入腔體，保持密閉空間的壓力，當(dāng)壓力過高時，泄壓閥自行打開進(jìn)行泄壓，快速精準(zhǔn)地控制壓力的穩(wěn)定，同時避免氣體浪費。標(biāo)配了一個壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制，該PC數(shù)字板具有控制壓力所需的所有功能。除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，ACU20PCD還提供模擬量輸入/出信號，可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程。同時，可觸控顯示屏使操作更加便捷。這款壓力控制器使用的是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控制的特性。密閉
2025
09-02

SF6氣體流量精確控制：電力設(shè)備絕緣與滅弧性能的關(guān)鍵保障
在電力設(shè)備中，SF6氣體憑借的絕緣與滅弧性能，成為高壓開關(guān)、GIS（氣體絕緣金屬封閉開關(guān)設(shè)備）等核心裝備的關(guān)鍵介質(zhì)。而其流量精確控制，則是保障設(shè)備安全穩(wěn)定運行、延長使用壽命的核心環(huán)節(jié)。絕緣性能的“氣壓護(hù)盾”SF6氣體的絕緣強(qiáng)度與氣壓緊密相關(guān)。流量控制不當(dāng)導(dǎo)致氣壓波動，會直接削弱絕緣性能。例如，在GIS設(shè)備中，若充氣階段流量過大，可能因局部氣流沖擊引發(fā)電場畸變，降低絕緣裕度；而運行中流量不足，則會導(dǎo)致氣壓下降，使氣體絕緣強(qiáng)度大幅衰減，增加電暈放電甚至擊穿風(fēng)險。精確的流量控制通過維持穩(wěn)定氣壓，確保氣
2025
08-22

某半導(dǎo)體企業(yè)：超短貨期，穩(wěn)定供貨助力薄膜沉積工藝
一、項目背景：半導(dǎo)體迎來第二發(fā)展曲線在生成式人工智能推動下，近兩年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大幅反彈。根據(jù)多方預(yù)測，半導(dǎo)體行業(yè)將持續(xù)增長，2030年有望突破1萬億美元里程碑。在我國，面對半導(dǎo)體被‘卡脖子’的嚴(yán)峻現(xiàn)實，其發(fā)展速度迅猛，且需求量較大。國家對半導(dǎo)體發(fā)展也高度重視，并持續(xù)提出支持政策。二、企業(yè)概況：致力于半導(dǎo)體技術(shù)國產(chǎn)化精量科技服務(wù)的某半導(dǎo)體企業(yè)致力于國產(chǎn)化替代，專業(yè)布局碳化硅工藝，經(jīng)過多年工藝積累，目前形成以刻蝕工藝設(shè)備、薄膜沉積工藝設(shè)備等系列產(chǎn)品，主要用于半導(dǎo)體前道工藝階段，如碳化硅、氮化鎵等化合物
2025
08-05

SF6氣體質(zhì)量流量控制器：原理、技術(shù)特性與應(yīng)用場景全揭秘
一、核心工作原理SF6氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）通過熱式質(zhì)量流量測量原理實現(xiàn)精準(zhǔn)控制。其核心傳感單元采用恒溫差法，通過加熱元件與上下游溫度傳感器的溫差變化計算氣體質(zhì)量流量。當(dāng)SF6氣體流經(jīng)加熱區(qū)域時，帶走的熱量與質(zhì)量流量成正比，經(jīng)PID閉環(huán)控制系統(tǒng)動態(tài)調(diào)節(jié)比例閥開度，可實現(xiàn)±0.8%的讀數(shù)精度和±0.2%的滿量程精度。針對SF6特殊的絕緣和滅弧特性，控制器集成溫度-壓力實時補(bǔ)償算法，自動修正氣體密度變化帶來的測量偏差。二、關(guān)鍵技術(shù)特性高精度測量：采用24bit模數(shù)轉(zhuǎn)換和數(shù)字濾波技術(shù)，在0.1-
2025
07-25

熱處理行業(yè)用的氣體質(zhì)量流量控制器
在熱處理行業(yè)會涉及到滲氮、滲碳、碳氮共滲的工藝，主要是把各種氣體充入熱處理爐中，營造所需的氣氛，達(dá)到向被處理工件滲碳、滲氮的目的，進(jìn)而增強(qiáng)工件的某些性能，例如：強(qiáng)度﹑沖擊韌性和耐磨性等。這就需要精準(zhǔn)、穩(wěn)定的控制氣體的流量，保證達(dá)到目標(biāo)效果。所涉及到的氣體一般有：空氣、天然氣、氨氣、乙炔、氮氣、二氧化碳?xì)怏w等。。。我司在熱處理行業(yè)已經(jīng)有較多應(yīng)用，尤其是低壓大流量的自動控制，例如RX氣體設(shè)備，氮化爐，氨氣裂解。。。以及甲醇液體流量的自動控制。（具體產(chǎn)品參數(shù)，可以與頁面的產(chǎn)品經(jīng)理溝通）
2025
07-18

質(zhì)量流量控制器涉及的工作壓力
質(zhì)量流量控制器(MFC)在使用過程中會涉及到壓力問題，一般包括以下幾種壓力：1、耐壓是為產(chǎn)品的安全壓力，可以理解為爆破壓力。2、最大工作壓力是流量控制器工作時進(jìn)口端所能承受的最大進(jìn)氣壓力。3、工作壓差是指在MFC的進(jìn)、出氣口之間壓力差值，這個工作壓差主要是因為MFC帶有流量控制閥，而這個壓力差指的是流量控制器進(jìn)氣端的進(jìn)氣壓力與其出氣端所受到的阻力或者背壓之間的差值。4、質(zhì)量流量控制器(MFC)的壓損（壓降、壓損）：壓損是指流體通過管道或設(shè)備受摩擦力產(chǎn)生的壓力損失。對于安裝在氣路中的流量控制器，因
2025
07-11

低壓差氣體質(zhì)量流量測控產(chǎn)品在熱處理工藝中的運用
項目背景此客戶屬熱處理行業(yè)的設(shè)備制造商，在面對提高設(shè)備自動化性能、提升設(shè)備國產(chǎn)化率等問題時，亟需定制一款可以滿足工藝要求的氣體質(zhì)量流量控制器/流量計，客戶主動聯(lián)系到我公司，尋求高效的解決方案?？蛻粜枨笤谀碂崽幚砉に囍校枰烊粴庠诘腿肟趬毫Γ?KPa）的條件下，可穩(wěn)定輸出最大流量到30Nm3/h（500L/min）?？蛻粼捎谩傲髁坑?控制閥”的組合方案，但存在以下問題：1、系統(tǒng)響應(yīng)速度慢，難以滿足快速調(diào)節(jié)需求；2、流量測量與控制分離導(dǎo)致精度下降；3、安裝空間要求大，管路連接復(fù)雜，增加施工難度；
2025
07-04

氣體質(zhì)量流量計如何突破密度與溫度補(bǔ)償難題？
氣體質(zhì)量流量計通過多參數(shù)耦合補(bǔ)償技術(shù)、智能算法優(yōu)化、硬件創(chuàng)新設(shè)計及模塊化集成突破密度與溫度補(bǔ)償難題，實現(xiàn)復(fù)雜工況下的高精度流量測量，具體分析如下：多參數(shù)耦合補(bǔ)償技術(shù)氣體質(zhì)量流量計通過集成溫度、壓力傳感器，結(jié)合實時氣體物性數(shù)據(jù)庫，可動態(tài)修正密度與溫度對測量的影響。例如，在變組分天然氣輸送中，設(shè)備能根據(jù)氣體成分變化自動調(diào)整補(bǔ)償系數(shù)，消除因密度波動導(dǎo)致的誤差；同時，通過內(nèi)置的熱物理性質(zhì)模型（如熱導(dǎo)率、比熱容與溫度的關(guān)系曲線），實時計算熱量傳遞效率變化，確保在不同溫度下均能準(zhǔn)確測量流量。智能算法優(yōu)化基于
2025
06-27

壓力控制器-自動控制氣體或液體管路上游下游壓力
此款壓力控制器為直通式設(shè)計，測控范圍從20Pa到30MPA（絕壓和表壓皆可）。產(chǎn)品精確度高、重復(fù)性好，分為前壓(上游壓力)控制和背壓控制(下游壓力)、密閉容器控制三種。標(biāo)配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量和控制。該基本數(shù)字PC板具有測量和控制所需的所有基本功能。除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，還提供模擬I/O信號。此款壓力控制器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控制的特性。我們有不同系列的控制閥對應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常
2025
06-20

適用于氣體和液體的耐高溫的質(zhì)量流量計及質(zhì)量流量控制器
北京精量科技有限公司(ACCU)成立于2015年，專注研發(fā)熱式、差壓式和小流量科里奧利質(zhì)量流量控制器/計。公司旗下的產(chǎn)品可直接測量氣體、液體和高粘高密度介質(zhì)的質(zhì)量流量和體積流量，最小量程20g/h，適用于實驗室和復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境。ACU10FCH系列產(chǎn)品是我司專門研發(fā)的，針對高溫介質(zhì)的質(zhì)量流量控制器/計。左側(cè)基礎(chǔ)款最高可測200℃，右側(cè)升級款最高可測350℃。其精度高、響應(yīng)快、多變量測量及50：1量程可調(diào)比等特點，深受用戶的喜愛。產(chǎn)品亮點：1、可直接測量各種氣體/液體/蒸汽的質(zhì)量流量和體積流量，精
2025
06-13

小流量低壓力液體流量的控制
差壓式液體流量控制器/流量計，可快速精確測量過程液體的體積流量/質(zhì)量流量；并且采用定制的高速比例控制閥對液體體積流量/質(zhì)量流量進(jìn)行精確控制。帶有特色的排氣孔可輕松排出空氣。集成式多功能數(shù)字顯示屏，允許用戶僅通過屏幕按鈕操作便可控制設(shè)定值及PID閥門調(diào)節(jié)，同時開放模擬輸入輸出和RS-485數(shù)字通訊。內(nèi)部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝方向不敏感。我們提供良好的用戶支持，包括技術(shù)咨詢、快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和有條件的終身質(zhì)保。采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下流體仍舊保持層流運動。
2025
06-06

氣體質(zhì)量流量計的維護(hù)保養(yǎng)與故障排除
維護(hù)保養(yǎng)：日常清潔：定期使用干凈的濕布擦拭流量計外部表面，去除灰塵和污垢。對于傳感器部分，可使用壓縮空氣輕輕吹掃，去除表面灰塵和雜質(zhì)，但需避免使用腐蝕性或磨損性清潔劑。檢查連接：經(jīng)常檢查流量計與管道的連接部位是否密封良好，有無泄漏現(xiàn)象，可使用肥皂水或檢漏儀進(jìn)行檢查。同時，檢查緊固件是否松動，如有松動應(yīng)及時擰緊。校準(zhǔn)調(diào)整：根據(jù)使用頻率和精度要求，制定合理的校準(zhǔn)計劃，定期將流量計送到專業(yè)計量機(jī)構(gòu)校準(zhǔn)，或使用標(biāo)準(zhǔn)計量器具在現(xiàn)場校準(zhǔn)，并記錄校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。根據(jù)實際使用情況，調(diào)整流量計的參數(shù)，如量程、零點等，調(diào)
2025
05-30

耐高壓氣體質(zhì)量流量控制器MFC
在一些工業(yè)應(yīng)用中，尤其是石油石化行業(yè)，需要一些10Mpa以上的高壓氣體應(yīng)用的工況，例如10Mpa~40Mpa之間較多見，在這種高壓氣體流量控制應(yīng)用中，目前較多使用的是國外進(jìn)口品牌的MFC，價格高、貨期長，售后服務(wù)較慢。北京精量憑借多年的研發(fā)經(jīng)驗，參考進(jìn)口品牌的特性，與用戶合作，研發(fā)了耐高壓10Mpa以上的MFC。(耐壓:3000psi的MFC）該系列耐高壓質(zhì)量流量控制器的原理及特性：采用熱式原理，熱式質(zhì)量流量計/控制器的核心是傳感器，由帶有電阻溫度計元件的不銹鋼毛細(xì)管組成。一部分氣體流量流經(jīng)這一

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