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地心科技LAB210系列 氣浮直驅(qū)直線臺(tái)是納米級(jí)定位精度的氣浮平臺(tái)，采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，利用空氣彈性勢(shì)能作為支撐導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻...
LAB165S系列 氣浮直驅(qū)直線臺(tái)是納米級(jí)定位精度的氣浮平臺(tái)，采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，利用空氣彈性勢(shì)能作為支撐導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率最大...
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