LAB210系列 氣浮直驅(qū)直線臺是納米級定位精度的氣浮平臺，采用直線電機驅(qū)動，利用空氣彈性勢能作為支撐導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達120Hz以上。氣浮平臺是正負壓設(shè)計，空氣負壓保證空氣導(dǎo)軌的正常氣隙。對于一些大體積負載在氣浮導(dǎo)軌上不均勻分布的應(yīng)用，這種設(shè)計的優(yōu)勢就體現(xiàn)出來了，非常適合重負載的應(yīng)用。

專業(yè)的設(shè)計和制造技術(shù)鑄就了LAB210平臺杰出的幾何性能，超薄的氣隙有利于減少步進穩(wěn)定時間， LAB210平臺的最小步進優(yōu)于10nm；1mm和25mm步進快速整定測試可以分別在40ms和170ms內(nèi)整定到±100nm。同時LAB210平臺的平面度、直線度以及Pitch/Yaw/Roll擺角指標控制也相當(dāng)出色。

LAB210系列 氣浮直驅(qū)直線臺有較強的驅(qū)動能力，空載速度可達2000mm/s，空載加速度可達2g，主要應(yīng)用于大型光學(xué)透鏡檢測、半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測、精密制造和封裝等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。

LAB210系列平臺最小步進測試

10nm最小步進（實驗室環(huán)境，配置線性放大器）

20nm最小步進（實驗室環(huán)境，配置線性放大器）

LAB210系列平臺動態(tài)性能測試

2.2mm@40ms@±350nm（實驗室環(huán)境，配置線性放大器）

備注

（1）適配-ASH反饋，配置線性放大器；

（2）空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

（3）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統(tǒng)的性能指標與實際載荷和工作點位置有關(guān)；

（4）氣缸供氣需配置空濾三聯(lián)件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據(jù)平臺實際負載重量可調(diào)；

（5）為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開關(guān)，信號輸入到運動控制器連接急停（E-STOP）端口。