DS300 壓力式質(zhì)量流量控制器是針對半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器。DS300 壓力式質(zhì)量流量控制器采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小，精度高，響應(yīng)速度快，壓力不敏感的特點(diǎn)，產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，金屬表面狀況符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的要求。

設(shè)備特點(diǎn)

•基于 PTS 壓力傳感技術(shù)：PTS（Pressure，Temperature，Space）技術(shù)可精準(zhǔn)監(jiān)測氣體的壓力、溫度及空間分布參數(shù)，為流量計(jì)算與控制提供實(shí)時(shí)、可靠的數(shù)據(jù)支撐，減少因參數(shù)監(jiān)測偏差導(dǎo)致的流量控制誤差；

•基于 AI 的壓力控制技術(shù)：通過 AI 算法智能調(diào)節(jié)壓力，可根據(jù)工藝中流量的細(xì)微變化動態(tài)優(yōu)化控制策略，提升壓力與流量的穩(wěn)定性，避免因工況波動導(dǎo)致的流量異常；

•全金屬耐腐蝕技術(shù)：不銹鋼接觸表面能耐受半導(dǎo)體工藝中常見的腐蝕性氣體（如*、氯氣等）侵蝕，延長設(shè)備使用壽命，同時(shí)避免金屬離子溶出污染氣體，保障工藝潔凈度；

•高準(zhǔn)確度及高可靠性：長期使用中能保持穩(wěn)定的流量控制精度，減少設(shè)備故障頻次，降低半導(dǎo)體產(chǎn)線因流量控制器問題導(dǎo)致的停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。

產(chǎn)品應(yīng)用

•流量規(guī)格（氮?dú)猓焊采w多檔范圍，包括 0～30、50、100、200、300、500 SCCM（標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘）及 0～1、2、3、5、10 SLM（標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘），可適配半導(dǎo)體行業(yè)從小流量實(shí)驗(yàn)到中大規(guī)模生產(chǎn)的不同工藝需求；

•準(zhǔn)確度：流量≥10% 滿量程（F.S.）時(shí)，誤差為 ±1% 設(shè)定點(diǎn)（S.P.）；流量＜10% 滿量程時(shí)，誤差為 ±1% 滿量程，確保高低流量區(qū)間均能保持精準(zhǔn)控制；

•重復(fù)精度：±0.2% 滿量程，多次測量結(jié)果的偏差極小，保障同一工藝批次內(nèi)流量的一致性，避免因流量波動影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量；

•響應(yīng)時(shí)間：≤0.5 秒，能快速捕捉流量變化并調(diào)整，適配半導(dǎo)體工藝對流量控制時(shí)效性的要求，減少工藝過渡階段的不良品；

•工作壓力：0.45MPa，符合半導(dǎo)體裝備常規(guī)的工作壓力范圍，無需額外調(diào)整壓力系統(tǒng)即可集成使用。