目錄:華兆科技(廣州)有限公司>>半導(dǎo)體設(shè)備>>氣體測量控制>> QL 氣路測量控制管線系統(tǒng)
| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件 |
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QL 氣路測量控制管線系統(tǒng)是七星流量計(jì)開發(fā)的氣路輸送系統(tǒng)的解決方案,該QL 氣路測量控制管線系統(tǒng)通過對氣路原理圖的設(shè)計(jì)、加工和測試,以隔膜閥、調(diào)壓閥、壓力傳感器、過濾器、MFC等零部件實(shí)現(xiàn)對多種工藝氣體的壓力調(diào)節(jié)、純度過濾、流量控制等功能。
設(shè)備特點(diǎn)
•具備 IC 級復(fù)雜氣路盤設(shè)計(jì)能力:可設(shè)計(jì)滿足集成電路(IC)領(lǐng)域嚴(yán)苛要求的復(fù)雜氣路結(jié)構(gòu),適配 IC 制造中多氣體、高精度的氣路輸送需求,保障精密工藝下的氣路穩(wěn)定性;
•支持定制化服務(wù):能根據(jù)客戶的具體工藝需求(如氣體類型、壓力 / 流量參數(shù)、接口規(guī)格)調(diào)整氣路盤設(shè)計(jì),提供個(gè)性化解決方案,避免通用產(chǎn)品與實(shí)際需求不匹配的問題;
•嫁接 MFC 研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn):依托七星流量計(jì)多年的 MFC 研發(fā)與生產(chǎn)技術(shù)積累,將 MFC 的精準(zhǔn)流量控制技術(shù)融入氣路盤設(shè)計(jì),提升整體氣路系統(tǒng)的流量控制精度與可靠性;
•高性價(jià)比優(yōu)勢:在保障性能與質(zhì)量的前提下,通過優(yōu)化設(shè)計(jì)與生產(chǎn)流程控制成本,為客戶提供兼具可靠性與經(jīng)濟(jì)性的氣路輸送方案,降低客戶設(shè)備投入成本。
產(chǎn)品應(yīng)用
•真空能力:覆蓋 0.2Pa~1×10??Pa 范圍,可適配不同真空度需求的工藝場景,確保氣路系統(tǒng)能穩(wěn)定維持目標(biāo)真空環(huán)境;
•漏率(VCR 密封):小于 1×10??Pa˙m3/s,極低的漏率保障氣路密封性,避免氣體泄漏導(dǎo)致的工藝污染或參數(shù)波動(dòng);
•管路內(nèi)表面光潔度:小于 0.2Ra,光滑的內(nèi)表面減少氣體雜質(zhì)吸附,降低因管路污染影響氣體純度的風(fēng)險(xiǎn);
•管路內(nèi)表面處理:采用 EP(電解拋光)處理,進(jìn)一步提升管路內(nèi)表面潔凈度與耐腐蝕性,適配高純度氣體輸送需求;
•IGS 尺寸與接口 / 密封形式:IGS 尺寸為 1.125 英寸,接口采用全金屬密封,密封形式可選 IGS-C 型、VCR 或卡套,適配不同設(shè)備的連接需求,同時(shí)保障密封可靠性;
顆粒度控制:連續(xù) 3 次測試中,0.1μm 以下顆粒數(shù)≤3 個(gè),嚴(yán)格控制管路內(nèi)微小顆粒,避免顆粒進(jìn)入工藝環(huán)節(jié)影響產(chǎn)品質(zhì)量(尤其適配半導(dǎo)體、精密電子等領(lǐng)域)。
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